科技强国从升级镜头开始正文卷第83章现在就拆给你看!
光刻作为芯片制造流程中最关键的环节,其基本原理其实很简单,就是用光,来完成对硅片的雕刻。
光刻中的硅片,就像是挂在墙上的投影布,而光刻机则是投影仪,
如果投影布表面不平整,出现起伏,那投影的画面自然就会扭曲变形。
在光刻中,硅片的表面瑕疵,则会导致投影上去的电路设计路变形,从而导致良率降低,甚至整张晶圆报废。
所以想要得到一张能用来制造芯片的硅片,则需要把切割后的单晶硅片进行抛光打磨,直至它的表面平整度低于1.5nmRMS。
这相当于在电影院挂上一块大幕布,它的表面起伏不能超过一根头发丝大小,无限接近于完美的镜面。
因此,这对硅片制造抛光工艺要求,自然就显得极其重要了。
从圆珠笔头上的小钢珠,到芯片的原材料硅片,再到光刻机上的镜片,最后甚至是科幻三体中表面完美无暇的水滴……
其实考验一个文明工业水平高度的,就是看你能把一个物品造得有多精细。
而造精细的东西,自然就需要空气干净的洁净室,不然空气中全是灰尘细菌,再怎么打磨造不出合格的硅片。
“其实这些年我们通过仿制岛国的设备,已经可以达到2.6nmRMS的平整度了,但无论我们再怎么检查,哪怕每一个零件都已经达标了,但依然没办法继续突破……”
严辉穿一边穿着防护服,一边向康驰介绍着他们的研究进度。
“抛到2.6nmRMS用的是什么抛光液?”
“以SiO2为基础,加入0-70wt%的双氧水,最后用KOH调节pH到8.5。”
康驰点了点头:“先看看再说吧。”
两人穿好防护服后,很快就来到了抛光实验室,然后由严辉主持,向康驰演示了一次抛光实验。
在传统的硅片抛光打磨中,通常会先用机械抛光机,对硅片进行初步打磨,再清洗,最后进行化学机械抛光,也称为精磨。
精磨是一种利用抛光液的化学腐蚀功能,配合机械转盘的机械打磨,两者互相配合来达到硅片的工艺标准。
实验的结果是3.1nmRMS,比他们能做的极限还差不少。
康驰沉思了片刻,然后说道:“换成30wt2O3基液,加65wt%高锰酸钾作为化学抛光液,用5wtO3调成8.0的PH值再试一遍。”
();() 严辉点了点头,带着研究员们调配好抛光液,然后重新进行了一次实验。
“平整度5.9nmRMS。”
看到这个结果,原本还有点小期待的严辉,不由露出一抹失望的神色。
但康驰却依然不为所动,又报出了一组抛光液配比,让他们重新进行第三次实验。
“平整度5.9nmRMS。”
5.9?
还是5.9?!
叶秋穿越到了大荒世界,获得万倍返还系统。传授或赠送徒弟一样东西,就可以获得高倍暴击返还。叮,你送给弟子一颗洗髓丹,触发千倍暴击,获得一枚神髓丹。叮,你向弟子传了十年功力,触发百倍暴击,获得千年功力。叮,你赐给弟子极品宝器紫霞剑,触发万倍暴击,获得仙剑云霄一把。众弟子师尊实在太大方了,对弟子从来不藏私,什么都送。...
迷迷糊糊穿越到了八零年,成了一本书里的恶毒女配,还多了个小萌娃。郁闷的是,这恶毒女配把男主给设计了,让男主娶了她也就算了,她的娃儿,竟不是男主的然后,男主金蝉脱壳成功,却让女配成了被村里人嘲讽的...
小说以20世纪50年代至21世纪头十年的皖淮小城淮南为故事背景,讲述了田家庵区老北头何家老一辈及六个女儿的人生悲喜剧。新中国成立后,老何为支援社会主义建设,携家带口从扬州江都移居安徽,在淮河边上扎下了根。...
自由只是种幻想它不存在于世界任何一个角落某归宅部部长不讲规矩随心所欲于是成了别人眼里的何必在意只要自己开心就好...
苏宇穿越,突然得到了一个合成栏,世间万物,均可合成!无论是什么东西,落在苏宇的手中,都能变成稀世珍宝!在苏宇手中,只要物品足够,菜刀都能变成屠龙宝刀。普通的白纸合成出了鸿蒙金卷。普通的衣服合成出了飘渺仙衣。普通的气血丹合成出了九转金丹。任何物品,在合成栏下,都能变成无数人趋之若鹜的宝贝!...
情若自控,要心何用重生而来的百里奈禾,心中只有一个信念,那就是永远的守在南宫梦拾的身边,不论祸福旦夕皆不能阻。...